技拿到的设备,也不是受限设备,夏芯科技完全可以自己直接下单,省时省力还省钱。
甚至AMAT的总工程师还在会议上发言称:“哪怕是依靠这些二线设备,哪怕是通过调校发挥这些设备最强悍的性能,夏芯科技也只可能拥有10nm以上的制程代工能力。”
所以这就很奇怪了。
夏芯科技的7nm代工制程技术和设备是怎么来的?
光刻机是浦东微电子提供的,他们这些外企不了解具体情况。但是夏芯的7nm工艺里,这个等级的平整化设备、离子注入设备、过程控制设备这些高精尖设备,是哪里来的?
夏芯科技的新建厂房,九州科技派来的研究员正在讲解着技术和相关设备,
“你们也知道沉积设备利用气相中发生的物理、化学过程,在工件表面形成功能性或装饰性的金属、非金属或化合物涂层。十年前的时候一次只能沉积一层原子,三年前AMAT公司采用了新技术也仅仅只能沉积三层,不过经过我们改造,现在这个设备可以沉积的层出已经超过了原先设计的层数。
还有离子注入机,我们采取的也是AMAT公司生产的维利安VIISTA系列产品,但是采用的工艺更为高精度、低能量,在整个晶圆表面快速注入高浓度掺杂物,且产品注入系统的技术部署在通用的VIISTA平台之上,这种通用性有助缩短第一次硅晶的时间,提升应用的生产效率。
在操作上,除了之前我们讲解的技术难点之外,其他的都可以由智能辅助系统进行随时校正,当然我更推荐你们佩戴工作专用的SR1眼镜,它的现实增强技术和我们公司的生产设备以及工艺流程都进行了匹配,可以让使用者更直观的看到经过系统推导后,大概率是哪个流程或者数据设置出现了错误。”
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