助自己的生产线在130nm光刻机站稳脚跟，华国方面实现技术突破后同样可以借助华虹、华晶这帮国企站稳脚跟。
因此有新芯这一案例在前，华国非但没有中止十五计划中的光刻机项目，反而加大了对这一项目的支持力度，直接放在燕京的华国科学院光电所负责这一项目的研发，由申海微电子负责配合。
“林博士，您好，我是央*视记者陈晓夏，我们有几个问题想采访一下您，您可以畅所欲言。”陈晓夏是国际频道的记者，常年跑外勤，因此来到有明会展中心他倒是没有什么感觉，他连南极都跑过，这里只能说小意思。
而这次团队里的小年轻来了之后，一阵阵惊呼，觉得东京建设的比华国的大城市要好得多，随便一个会展中心都修的如此恢弘雄伟，建筑面积足足有二十多万平方。
林本坚对接受采访不意外，央妈的团队是和他们搭乘同一个航班来的东京，在来之前央妈那边就已经和新芯沟通好了。
“好的，陈记者，你问吧。”林本坚很淡定，他刚刚做完介绍，还没有从前面介绍中的兴奋状态中脱离出来，对于和陈晓夏的沟通，他属于机械式反应。
“林博士，第一个问题，您觉得新芯的技术突破意味着什么？对于光刻机领域，对于半导体领域来说？”
“意味着困扰业内长达二十年的光源问题得以解决，从90年代开始，光源波长就从365nm降低到了193nm，但是业界一直无法实现突破。
新芯这次实现了光源波长的突破，从40nm到20nm都将是一马平川，再无困难点阻碍。
半导体行业依然会按照摩尔定律继续发展，一直到遇到新的瓶颈。”林本坚说得云淡风轻，心里却很得意。
他在现场看到了之前IBM的老熟人，也是他的对手，IBM光源团队的负责人鲍里斯·利普金。
之前在IBM的时候，他坚持深紫外光或者浸润法来突破193nm波长的限制，而鲍里斯坚持X光，林本坚后来被IBM“内部退休”和鲍里斯不无关系。
看到台下的敌人、朋友、对手、合作伙伴，大家虽然有着不同的立场，但是都在为半导体技术又一次进步而鼓掌而高兴，这技术进步是自己带来的，林本坚感到由衷的开心。
陈晓夏不太能体会林本坚的心情，他知道这很重要，不重要央妈也不会派一整个团队跑过来，他不知道具体有多重要，听完林本坚的回答后，陈晓夏有了更加直观的感受。
20年的难题被解决了，这确实是值得大书特书的事情，还是由我们华国的企业实现了这一突破。
“林博士，这次的技术突破你们是如何做到的？如何超越尼康、佳能以及荷兰的ASML这些公司？
他们在光刻机领域都有着比较悠久的历史，新芯是如何实现的赶超呢？”
林本坚说：“因为我们选择了正确的方向。
我们采取的是和其他公司都截然不同的方向。
在上世纪90年代末的时候，当时业内就提出了各种各样突破193nm波长的方案，其中包括157nm F2激光，电子束投射，离子投射、深紫外光和X光等等。
其中X光、电子束投射、离子投射都太遥远了，属于是有这个想法，理论来说可行，材料学的现状决定了不现实，这些只是前置研究。
最普遍的是157nm的F2激光，尼康、佳能、ASML都走的是这一技术路线。
但是这一技术路线同样有一些难点要克服，比如说157nm波长的光会被193nm波长光源光刻机的镜片吸收，他们要重新研制镜片，光刻胶也要重新研发，他们要克服的困难比我们更多。
我们采用的浸润法从方向上来说，可以是最简单的解决方案。我在和Newman讨论之后，确定了技术方向，然后朝着这一技术方向前进，没多久就实现了突破。”
林本坚很自豪，记者则敏锐捕捉到了新闻热点，和周新相关的都是新闻热点，陈晓夏连忙问：“林博士，您刚刚提到了Ne
第三百一十五章 含金量-->>(第2/3页)，请点击下一页继续阅读。